氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀是怎樣檢漏的呢？

市面上有各種檢漏儀器，最常見的載氣有氮?dú)?、氫氣、氦氣等。氦氣檢漏大家想必都聽說過，那么氦質(zhì)譜檢漏儀是怎樣檢漏的呢？氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏是如何操作的呢？ 為此，量化檢測總結(jié)了常見的氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏的六種方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的六大方法：

1. 噴氦/噴槍法;真空測漏法是業(yè)內(nèi)經(jīng)常使用的一種檢漏方法, 廣泛應(yīng)用于精密儀器, 真空釬焊, 壓力容器等行業(yè)；

2. 吸槍法/正壓法；氦質(zhì)譜檢漏正壓吸槍法主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。

3. 真空累積測漏法；

4. 背壓法；背壓法氦質(zhì)譜檢測優(yōu)點(diǎn)：檢測靈敏度高；可以進(jìn)行批量化檢測；

5. 真空累積法；

6. 常壓吸槍累積法：常壓吸槍累積法廣泛應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域；

任何儀器在制作過程中難免會遇到密封不嚴(yán)的情況，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒有太大關(guān)系，但是在半導(dǎo)體器件、集成電路等重要電氣設(shè)備及高端儀器中，良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要！同樣，選擇專業(yè)的氦氣檢漏檢測公司也是非常關(guān)鍵的！

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